隨著科學(xué)技術(shù)的發(fā)展,超聲波掃描技術(shù)被應(yīng)用的領(lǐng)域越來(lái)越多。尤其是德國(guó)超聲波掃描顯微鏡的應(yīng)用領(lǐng)域更為廣闊:

(1)在半導(dǎo)體及太陽(yáng)能晶錠材料上的應(yīng)用:分析晶錠內(nèi)部缺陷等。
(2)在半導(dǎo)體Wafer和太陽(yáng)能晶圓上的應(yīng)用:涂覆后和印刷后晶圓片上的分層缺陷等。
(3)在半導(dǎo)體封裝檢測(cè)上的應(yīng)用:塑封層、芯片頂部、芯片粘接層、導(dǎo)線框、BGA 樣品以及Flip Chip Underfill 上的分層缺陷等。
(4)在MEMS器件上的應(yīng)用:晶圓鍵合的超聲檢測(cè)。
(5)在材料科學(xué)領(lǐng)域的應(yīng)用:鍍層界面、鉻合金鍍層界面、鍍膜層界面、多碳合金的超聲金相分析、材料的硬度分析、材料內(nèi)部的裂紋分析、高性能陶瓷內(nèi)部的裂紋分析等。
(6)在生物醫(yī)療研究領(lǐng)域的應(yīng)用:活體細(xì)胞組織裂變過(guò)程,不同活體細(xì)胞組織裂變過(guò)程,骨骼切片的超聲圖像等。
德國(guó)超聲波掃描顯微鏡是一種非接觸式高分辨率斷層掃描成像技術(shù),具有以下優(yōu)勢(shì):
1.高分辨率:超聲波掃描顯微鏡具有非常高的分辨率,可以區(qū)分納米級(jí)別的物體,使其成為一種重要的納米材料表征工具。
2.高速成像:超聲波掃描顯微鏡可以在微秒級(jí)別內(nèi)完成掃描成像,具有非常快的成像速度,可以用于觀察一些快速運(yùn)動(dòng)的樣品。
3.非接觸式:由于使用超聲波掃描成像,而非光或電子等接觸式物理量測(cè)量技術(shù),因此德國(guó)超聲波掃描顯微鏡可以對(duì)樣品進(jìn)行非接觸式掃描成像。
4.多參數(shù)測(cè)量:超聲波掃描顯微鏡可以同時(shí)測(cè)量多個(gè)物理量,如振幅、相位、頻率和質(zhì)量等參數(shù),從而提供更全面的樣品信息,使其成為一種非常有用的多參數(shù)測(cè)量工具。
5.易于操作:超聲波掃描顯微鏡具有易于操作、易于維護(hù)和高度可靠的優(yōu)勢(shì),使其成為一種非常有用的技術(shù)工具。
綜上所述,德國(guó)超聲波掃描顯微鏡具有非接觸式、多參數(shù)測(cè)量、高速成像和低成本等優(yōu)勢(shì)。這些優(yōu)勢(shì)使超聲波掃描顯微鏡在材料科學(xué)、生物醫(yī)學(xué)、納米材料表征等領(lǐng)域的應(yīng)用越來(lái)越廣泛。