在生產(chǎn)半導(dǎo)體等材料的過程中，對(duì)于質(zhì)量有著非常高的要求，常規(guī)的手段無法檢測(cè)除這些材料存在的問題，而通過超聲掃描顯微鏡則可以把這些材料的細(xì)微缺陷給檢測(cè)出來，提供微觀層面的檢測(cè)結(jié)果，對(duì)于提升生產(chǎn)品質(zhì)有著相當(dāng)大的幫助，下面就來說說它檢測(cè)的主要問題。

一、材料的雜質(zhì)顆粒缺陷

半導(dǎo)體生產(chǎn)工藝復(fù)雜，有著很多精細(xì)化的要求，在生產(chǎn)過程中比較常見的顆粒雜質(zhì)問題困擾了很多生產(chǎn)廠家。為使得生產(chǎn)達(dá)到對(duì)應(yīng)的質(zhì)量標(biāo)準(zhǔn)，必須將這種問題檢測(cè)出來，使用超聲掃描則可以很快的檢測(cè)出這種缺陷，給后續(xù)的解決問題帶來了很大的幫助。

二、材料內(nèi)部裂紋缺陷

超聲掃描的顯微鏡還可以用于各種精密電器元件的檢測(cè)，這類產(chǎn)品在生產(chǎn)的過程當(dāng)中，內(nèi)部出現(xiàn)裂紋后無法通過常規(guī)的手段檢測(cè)出來，但是使用超聲掃描技術(shù)則可以有效的發(fā)現(xiàn)這種內(nèi)部裂紋缺陷，從而避免了存在缺陷的產(chǎn)品流入到市場(chǎng)當(dāng)中。

三、材料內(nèi)部分層缺陷

很多電子元器件，以及半導(dǎo)體都存在內(nèi)部分層缺陷，同樣的，這種發(fā)生在材料內(nèi)部的細(xì)微缺陷很難被常規(guī)手段檢測(cè)，使用超聲掃描則彌補(bǔ)了這方面的缺失，可以快速且準(zhǔn)確的把材料分層缺陷給檢測(cè)出來。

作為一種比較特殊的檢測(cè)設(shè)備，超聲掃描顯微鏡在精密生產(chǎn)領(lǐng)域發(fā)揮了相當(dāng)大的作用，以上就是這種檢測(cè)設(shè)備的主要優(yōu)勢(shì)體現(xiàn)。